地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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投2019-0025

発表論文 Fabrication of perovskite solar cells with ITO deposited at a high rate by activated reactive evaporation using a pressure-gradient-type plasma gun
発表者名 ○田中 剛、中川 雅美、筧 芳治、森 隆志、山田 義春、近藤 裕佑、他
掲載誌/掲載箇所

Japanese Journal of Applied Physics
58, 068010 (2019)

発表日

2019/6/7

概要


我々は、半透明ペロブスカイト型太陽電池(PSC)の電極として利用できる透明導電膜を高速で製膜できる蒸着方法の研究開発を進めている。本研究では、PSCの下部電極に、圧力勾配型プラズマガンを用いた活性化反応性蒸着(ARE)によりITOを成膜した(5.1 nm/sec)。AREにより製膜したITOを有するPSCの光電変換効率(14.2 %)は、真空蒸着によって製膜されたAgを有するPSCの光電変換効率(14.4 %)と同等であった。AREは高速で製膜でき、PSCの電極として金属膜と同性能であることから、AREは半透明PSCの下部電極のITOを製膜する有効な方法である。