地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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投2019-0012

発表論文 P(VDF/TrFE)薄膜を用いた高周波型MEMS超音波アレイセンサの開発
発表者名 ○田中 恒久、村上 修一、宇野 真由美
掲載誌/掲載箇所

電気学会論文誌E
139巻、5月、P88-94

発表日

2019/5/6

概要


物体内部検査装置用に400 kHzの空中超音波を検出可能なMEMS超音波アレイセンサの開発を行った。2種類のサイズのダイアフラムを設計、試作実験、特性評価を行い、ダイアフラムサイズと共振周波数の関係を示した。ダイアフラムサイズが216 x 219 μm のMEMS超音波センサは、火花放電器を用いた特性評価評価実験で376 kHzの共振周波数を示し、内部検査装置用の超音波探触子から送信した400 kHzの空中超音波の検出ができた。本MEMS超音波センサは、物体内部検査装置用アレイセンサとして有望である。