地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2019-0260

発表題目 2層型ひずみ抵抗薄膜(TiCxOy/SiCxOy)を用いた高温オイルレス圧力センサの開発
発表者名 ○筧 芳治、佐藤 和郎、小栗 泰造、近藤 裕佑、山田 義春
発表会名 日本セラミックス協会2020年年会
発表日

2020/3/18

概要


ひずみ抵抗薄膜を利用した高温圧力センサの高感度化を目指して、FEMを用いた解析による金属ダイヤフラムの形状を検討した。その結果、ダイヤフラムの直径を大きくすることで動径方向のひずみ量を大きくできることを見出した。そこで、MgO(100)バッファ膜の利用に加えて直径を大きくした金属ダイヤフラム上に2層型ひずみ抵抗薄膜(TiCxOy/SiCxOy)を製膜した圧力センサを作製し、従来のサイズの圧力センサと比較した結果、約2倍の出力電圧が得られた。また、室温から400°Cの温度範囲において、作製したセンサの出力電圧は印加圧力に対して比例し、温度に対して減少しないことを確認した。