地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2019-0275

発表題目 Ar原子ナノクラスターを持つTi基金属ガラス膜の変形挙動評価
発表者名 小畠 淳平
発表会名 2020年春期講演大会
発表日

2020/3/17

概要


金属ガラス膜は、熱ナノインプリント分野への応用が注目されている薄膜であり、我々のグループではUBMスパッタ法で作製した金属ガラス膜にはスパッタガスであるArが多量に含有すること、Ar原子は金属ガラス膜内でクラスター構造を形成することを見出している。本発表では、Ar原子ナノクラスターが金属ガラス膜のナノ領域変形挙動に与える影響について報告する。具体的には、ナノインデンターによる圧痕形成とSEMによる圧痕観察によりせん断帯の形成状況を確認し、さらに、ナノインデンターの実験結果をせん断変形理論式に代入して、Arを含有する膜と含有しない膜の局所変形領域サイズを算出した。