地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2019-0224

発表題目 Characterization of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters using Lead-free BiFeO3 Film under Random Vibration
発表者名 ○村上 修一、佐藤 和郎、金岡 祐介、津田 和城、他
発表会名 44th International Conference and Expo on Advanced Ceramics and Composites (ICACC 2020)
発表日

2020/1/29

概要


IoT社会を支える技術の一つとして、環境発電技術は今後重要になる。とりわけ、圧電型振動発電は有望である。ただし、圧電材料は鉛を含むPb(Zr,Ti)O3が性能、信頼性ともに優れており、非鉛材料の開発が遅れているのが現状である。我々は、圧電材料としてBiFeO3に着目し、MEMS微細加工技術を活用して開発を進めた結果、Pb(Zr,Ti)O3と同等の発電性能を実現することに成功した。今までは理想的な正弦波振動を使って発電性能を評価していたが、今回は、実環境の振動に近いランダム振動を使って発電性能を評価し、重要な知見が得られたので報告する。