地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2019-0213

発表題目 STEM observations of domain structures relatedpiezoelectric properties in PZT thin films
発表者名 ○尾﨑 友厚、他
発表会名 the 44th International Conference and Exposition on Advanced Ceramics and Composites (ICACC 2020)
発表日

2020/1/28

概要


優れた圧電特性を持つPZTは、センサー、アクチュエーター、エネルギーハーベスターなどのMEMSアプリケーションとしての応用を期待されている。 PZT薄膜はバルク試料とは異なる圧電特性を持つが、薄膜であっても圧電応用には結晶構造と圧電特性の関係を明らかにすることが重要である。本研究では、PZT圧電薄膜の性能向上のため、RFマグネトロンスパッタリング法を用いて作製したPZT薄膜について、走査透過電子顕微鏡(STEM)による微細構造観察を行った。さらに、観察により得られた微細構造についてシンクロトロン放射XRDによる結果と比較することで、ドメイン構造と圧電特性の相関について調べた。