地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2019-0161

発表題目 Development of high-temperature oilless pressure sensors using TiCxOy piezoresistive films
発表者名 ○筧 芳治、山田 義春、近藤 裕佑、尾﨑 友厚、佐藤 和郎、小栗 泰造
発表会名 The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
発表日

2019/10/27

概要


燃焼効率向上を目指した自動車等のエンジン燃焼圧およびプラントの高温流体の圧力をセンシングすることを目的として、スパッタ法を用いて、絶縁膜付き金属ダイヤフラム上に2層型ひずみ抵抗薄膜(TiCxOy/SiCxOy)を作製し、微細加工およびドライエッチングを用いて圧力センサを試作した。試作したセンサの特性評価として、大気中、室温~400°Cの温度範囲で印加圧力を変化させながらスパン出力の測定を行った。その結果、スパン出力は印加圧力に比例し、また400°Cで100時間保持した時のスパン出力も安定していることを確認した。さらに、MgOバッファ膜を挿入することで、スパン出力の増加も確認した。