地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2019-0093

発表題目 ランダム振動を用いた圧電MEMS振動発電素子の特性評価
発表者名 ○村上 修一、金岡 祐介、佐藤 和郎、津田 和城、細山 亮、堀口 翔伍、他
発表会名 第10回集積化MEMS技術研究ワークショップ
発表日

2019/7/26

概要


IoT社会到来に向けて、センサモジュール向け電源の重要性が高まっており、環境発電(エネルーハーベスティング)技術が注目されている。環境発電では、エネルギー源、発電方式において多種多様であり、それぞれ一長一短あるが、我々は構造が簡単で小型化に有利な圧電MEMS振動発電素子に着目し研究開発を行っている。同素子の発電性能の評価には、理想的な正弦波振動を使った報告は多々あるが、実環境に近いとされるランダム振動を使った報告は少ない。今回、ランダム振動を使った評価結果と、一自由度バネ・質量・ダッシュポット系モデルに基づいた数値計算との比較検討について報告する。