地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

文字の大きさ

ヘッダーメニュー
メニュー

文字の大きさ

口2019-0094

発表題目 電着高分子膜をゲート絶縁膜に用いた有機トランジスタ
発表者名 ○中山 健吾、櫻井 芳昭、金岡 祐介
発表会名 第10回集積化MEMS技術研究ワークショップ
発表日

2019/7/26

概要


IoT社会の実現のため、安価で設置自由度の高いエレクトロニクスの重要性が高まっていることから、近年、印刷法やインクジェット法などの簡便で大量生産に適した溶液プロセスを用いて作製される電子デバイスが注目されている。厚さ100 nm程度の高分子薄膜を溶液プロセスで形成する場合、一般に、付き回り性やピンホール欠陥が問題となる。このため、特に絶縁膜については、絶縁信頼性の向上が課題となっている。本発表では、電着法により形成された高分子薄膜を有機トランジスタのゲート絶縁膜に適用した結果、絶縁性について高い歩留まりが得られた事例について紹介する。