地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2019-0100

発表題目 導電性ポリマーを用いたフレキシブル温度センサと有機論理回路の開発
発表者名 ○宇野 真由美、二谷 真司、前田 和紀、中山 健吾
発表会名 第1回センサソリューション&技術展
発表日

2019/7/24

概要


導電性ポリマー感温膜を用いたフレキシブルな温度センサと、その読み出し回路としての有機CMOS回路について、これまでの研究開発内容を紹介する。導電性ポリマーパターンの作製方法として、エキシマ光を用いた表面の濡れ性制御を利用する簡便なプロセスを開発し、温度センサ抵抗値の均一性を格段に向上させることができた。また、真空プロセスを使わない絶縁膜作製方法として、電着法を用いてゲート絶縁膜を作製し、特性が非常に揃った有機トランジスタを得ることができた。このように特性の安定性・再現性に極めて優れた有機デバイスの作製が可能となっており、今後のIoT社会におけるユビキタスセンサとしての応用が期待できる。