地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2019-0062

発表題目 大阪産業技術研究所の圧電MEMS研究開発紹介 ~圧電型MEMS振動発電等~
発表者名 ○村上 修一、佐藤 和郎、田中 恒久、筧 芳治、中山 健吾
発表会名 圧電MEMS研究会 第19回研究会
発表日

2019/7/3

概要


大阪産業技術研究所で研究開発されている圧電MEMS分野の技術シーズを紹介する。まず、圧電MEMS振動発電デバイスの1)正弦波振動、ランダム振動を用いた発電特性の評価技術、2)振動加速度が高くなるにつれて顕著になる非線形効果に関する考察、3)非鉛BiFeO3圧電体膜を用いた発電デバイスの設計・試作・評価について延べる。さらに現在、(株)ダイヘン、大阪府立大学と共同開発している圧電効果を使った磁界振動発電について紹介する。後半は、超音波アレイセンサ、聴覚補綴器、圧力センサ、薄膜トランジスタ、電着膜を使ったタッチセンサを紹介する。