地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2019-0051

発表題目 MEMSデバイスの研究開発/技術支援
発表者名 ○村上 修一、筧 芳治、田中 恒久、山田 義春
発表会名 電子機器2019トータルソリューション展
発表日

2019/6/5

概要


電子機器2019トータルソリューション展(東京ビッグサイト)にて、当所保有のMEMS関連装置や研究開発シーズを紹介する。MEMS関連装置の紹介においては、MEMSデバイスの設計・試作・評価の一貫した研究開発が可能であることを強くアピールする。さらに、当所の高機能性薄膜材料開発と、フォトリソグラフィを主としたMEMS微細加工技術を両輪とする充実したMEMSデバイス開発体制があることも強調する。今回は、研究開発シーズ紹介において、超音波センサ、高温オイルレス圧力センサ、強磁性半導体薄膜を使ったガスセンサ、圧電型MEMS振動発電デバイスを紹介する。